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桌面式隔振平臺 大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性，嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行。
隨著*的設(shè)備和工藝的發(fā)展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達(dá)到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準(zhǔn)確率小于50納米的精度要求。
為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，我們可以從以下的幾個(gè)方面來著手。
1、將系統(tǒng)與振源隔離
外界的振源來源很多，比如地面的自振，各種聲音等等。但是影響較大的是各種低頻的振源，主要集中在10～100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。
2、控制振動的作用
將系統(tǒng)組裝成動態(tài)的剛性結(jié)構(gòu)可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對穩(wěn)定性，且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
3、控制靜力矩的作用
桌面式隔振平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高桌面式隔振平臺的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下，具有較高硬重比的桌面式隔振平臺可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的桌面式隔振平臺可以充分的提高硬重比，達(dá)到提高系統(tǒng)性能的目的。
4、控制溫度變化
隨著時(shí)間的延續(xù)，不規(guī)則溫度變化會造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如，避免在桌面式隔振平臺下放置散熱設(shè)備，隔絕熱源設(shè)備和硬件，如光源、火焰等。
5、盡可能將臺面設(shè)計(jì)成對溫度不敏感的
良好的熱傳導(dǎo)性可起到作用，然而，在特殊的應(yīng)用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不脹鋼，具有極小的熱膨脹系數(shù)。一米長的超不脹鋼在溫度變化1K時(shí)膨脹長度約0.2微米。
